梁月露出苦涩的笑容,心里无奈,“可不多吗!这可是全世界最先进的软件工具啊!”
看到车诗诗记录完后,他才又继续说道,“另外还有一个就是光刻胶。”
“光刻胶在曝光、烘烤、显影过程中的化学反应是随机的,尤其是线边缘粗糙度(LER)的量化与控制非常困难。而这恰恰对先进制程的器件性能影响巨大。”
“咱们测试部在紫晶工厂那边驻场的柳工给我沟通光刻胶的测试性能时,也遇到一些麻烦,”梁月叹息道,“咱们国内生产的光刻胶虽然勉强能用,但似乎还是差一些。比不上樱花国的。因此稳定性还是不太够。”
车诗诗微微点头,“那紫晶工厂那边怎么安排的?”
如果是自己在临时研制这个领域,显然时间来不及。
她估计差点就差点,最终还是得用国内厂商的。
但是如果差的太离谱,那对自己这些测试的误导就很大了。
“听说是直接拨款买了一批南彤光电,然后向他们提了些要求。”梁月回答道。
这些涉及紫晶工厂的采购,他倒不是很清楚,只是隐约听到提了一嘴。
“南彤光电?”车诗诗倒是对这个名字有些熟悉,“是不是那个由程彤新材和大南光电合并的化工材料研发集团?”
“对,听说是强强联合的。车总,您知道?”梁月好奇的看着车诗诗。
车诗诗沉默了片刻回道,“前几天我在朋友圈里看到,秦岚带着欧皇妲到这家公司考察过。”
“他们的化学材料研发团队,在国内数一数二的,实力很强。连欧皇妲都夸赞他们厉害。”车诗诗会意说道。
“和联钢铁厂的秦岚和欧博士在南彤光电?”梁月十分惊讶。
因为他并没有这两人的好友,因此并不知道两人已经到南彤光电去考察去了。
但是他知道,有欧皇妲在,材料怕是又有突破!
“那光刻胶的事情,看来不需要我们太操心了。”梁月轻松的说道。
“嗯。”车诗诗点头,“我也是这样想的。”
“物理模型方面的我们先不着急。”车诗诗说思索后说道,“先看看OPC这软件层面上的测试怎么安排吧。”
“好的。OPC本质上是一个逆向求解过程,其巨大的计算量是另大难点。我们的测试也就在其中。”梁月解释说道。
通过他的解释,车诗诗也了解到这软件的难点是爆炸的数据量和极高复杂度算法。
随着版图日益复杂和分辨率不断提高,修正一个掩模版所需处理的数据量可达几十TB甚至更高。
ASML的数据显示,其云端模拟任务常常需要调动数万个CPU核心。这行业龙头都尚且如此,研发1部这边研究的尚且未超越,只会需要更多的处理算力。
而在算法上,从早期的基于规则的OPC,到主流的基于模型的OPC(MBOPC),再到目前最前沿的逆向光刻技术(ILT),每一步都伴随着计算复杂度的指数级增长。
对包含数十亿乃至百亿晶体管的完整芯片进行修正,对计算资源和时间的消耗也是巨大的。
“难怪马总一直在部署咱们的数据中心,不断要求提升算力……甚至直接买下高化区火力发电厂的电力。”车诗诗了解完整个过程后,惊讶的说道。
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